残余压力或极限真空度－指该泵所能达到的最低压力。用真空泵抽吸某一密闭容器中的气体，无论抽吸的时间有多久，容器中的压力是不能无限地降低到零，即绝对真空，这是因为当进气压力低于某一值后，泵内液体就会汽化，泵无法继续吸入新气体，容器之中压力在这种情况下，再也不能降低，此时的绝对压力称为残余压力。