微波管是利用电场、磁场来控制电子束在其内部运动，使电子束产生、加速、运动、收集以及和信号相互作用，以至达到信号放大的目的。因此，避免电子对气体分子间的碰撞，呆证电子在微波管内部的运动规律，方止发射热电子的阴极氧化中毒，把微波管抽到一定真空度保证微波管的正常工作，是绝对必要的。微波管的整个寿命期间要求维持高真空或超高真空状态。真空度的好环直接影响到微波管的可靠性能。
      高真空环境的获得和维持微波管内的真空度的获得，主要通过排气工艺把管内气体抽出，从而获得一定的真空度。由于微波管结构复杂，零件繁多，一般都是100种以上；真空气密性焊缝多，一般有几十道焊缝。所以在排气时需要加热到高温对金属零件和焊接处进行出气处理。这样在微波管工作状态下，内部零件温度会身高，就不会出气了，这样在工作状态下仍然会保证高的真空度。常用的排气系统为油扩散泵排气系统和涡轮分子泵排气系统，主要组成为前级泵（机械泵、罗茨泵等）粗抽，然后利用主泵（油扩散泵、分子泵等），配置必要的真空管道、一定高真空阀门、所需的真空计（电阻真空计、电离真空计、B-A真空计等）把真空度抽至高真空。当利用油扩散泵时，还需要加一挡油阱，防止泵油对真空器件内部系统污染程度。