涡旋真空泵内的摩擦部位由于涡旋真空泵是靠间隙密封的，为了提高抽速和降低极限压强，必须通过控制间隙来降低泄露。密闭腔之间的间隙主要有径向间隙和轴向间隙，如所示。当间隙很小时，由于加工、装配误差以及工作时的受热变形很容易接触，产生磨擦。根据摩擦发生的部位分为齿顶摩擦和齿侧摩擦。齿顶摩擦发生在动盘（静盘）齿顶与静盘（动盘）齿槽底面之间的轴向间隙处；而齿侧摩擦则发生在动盘与静盘齿侧面相啮合的径向间隙处。机械摩擦一方面会导致功率的损耗，另一方面也会造成涡旋壁的磨损咬合甚至发生锁死，导致涡旋泵的损坏。因此对间隙处的两个接触面必须考虑采取润滑措施，在涡旋压缩机中一般采取油润滑来解决，但涡旋真空泵中不能有油的存在，因此必须寻求采用固体润滑的方法来解决。