介绍
涡旋真空泵由于内部没有任何油类和密封液体,有效地杜绝了泵油的污染,从而可获得洁净的真空。然而另一方面由于缺少了油的润滑和密封作用,涡旋体啮合时仅靠间隙来密封,这样泵的性能将决定于加工精度和涡旋体之间的固体润滑性能。涡旋真空泵内的摩擦部位由于涡旋真空泵是靠间隙密封的,为了提高抽速和降低极限压强,必须通过控制间隙来降低泄露。密闭腔之间的间隙主要有径向间隙和轴向间隙,如所示。当间隙很小时,由于加工、装配误差以及工作时的受热变形很容易接触,产生磨擦。根据摩擦发生的部位分为齿顶摩擦和齿侧摩擦。齿顶摩擦发生在动盘(静盘)齿顶与静盘(动盘)齿槽底面之间的轴向间隙处;而齿侧摩擦则发生在动盘与静盘齿侧面相啮合的径向间隙处。机械摩擦一方面会导致功率的损耗,另一方面也会造成涡旋壁的磨损咬合甚至发生锁死,导致涡旋泵的损坏。因此对间隙处的两个接触面必须考虑采取润滑措施,在涡旋压缩机中一般采取油润滑来解决,但涡旋真空泵中不能有油的存在,因此必须寻求采用固体润滑的方法来解决。
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